摘要
q9oF8&O, ~]/X,Cf 众所周知,
光栅,尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
38Z"9 rA9x T` UUY-EC7X 8'B\%.+"8e 设计任务
jl2nRo -&kQlr x[}e1sXXs
9MLvHrB; 光栅光学装置
[ylGNuy Ytx+7OLe ;.W0Aa Xt=& 偏振分析器
nHKEtKDd ".xai.trr <'~8mV1 2ZtqZ64i 优化
%T6#c7U_ &J hN&Ur :/vB,JC 9v
cUo?/ 参数运行
.3|9 ~] |7`Vw Z NTL#! k #*|-? 关于光栅周期选择的考虑
Pz|qy, :
1fik r$v?[x>+K mZ;yk( 偏振相关衍射特性
I9F[b#'Pn G<jpJ GYO\l.%V5y 0!vC0T[ 偏振相关衍射特性
N^
D/}n -Ez| HnP;1Gi b=|&0B$E 偏振相关衍射特性
NNl/'ge<\ 7-o=E= Jl]]nOBQ/ <Z m ,q} 固定周期二维参数优化
}uHc7gTBF7 h{* O9O< Ve8! 二维参数优化——设计#1
-/gS s<" mzT} C&hfP 7t04!dD} /a$+EQ$ 二维参数优化——设计#2
Tc88U8Gc 4[J3HLQ >|Jw,,uf 3,vH:L4 制造
公差分析
4{vd6T}V! 9>i6oF]Oq -8tA~;p ,g,jY]o 变光栅周期
三维参数优化
pK8nzGQl7 i`>X5Da5 Y;Ur8q
5pok%g
制造公差分析
Vd?v"2S(9 Pj.~|5gnf Agi1r]W EORRSP,$2 VirtualLab Fusion 技术
zJnVO$A' Un/fP1