摘要
_SF!T6A M7U : g} 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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nh. b/\o ho| 8U 设计任务
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^^Bm$9 .q0AoM 光栅光学装置
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^OjvL6 A/p .='3bQ(UZ4 优化
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n1JC?+ w1.MhA 关于光栅周期选择的考虑
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&KOO&, JYl\<Z' { 偏振相关衍射特性
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X!2.IsIS8 %e(9-M4* 固定周期二维参数优化
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BQ 5_s,VM 二维参数优化——设计#1
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\}U[}5Pk& y @]8Ep 二维参数优化——设计#2
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3j]UEA^ 8x!+tw7 制造
公差分析
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S< 变光栅周期
三维参数优化
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Jsl k / c4;3>I S VirtualLab Fusion 技术
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