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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 0y)}.' ,eR8~(`= 6gXIt9B.h$ /\ytr%7 ,' 设计任务 6yY.!HRkr g %f*ofb rJ'/\Hh5P ]1m"V;vZ 仅位相透射设计(IFTA) J , V n5|l|#c$N J^ `hbP+2 OFA{
KZga 仅位相透射设计(IFTA) -K"4rz # kyl?E h;-a`@rO ; #O" 超表面晶胞分析 BT]ua]T+ |'tW= F!JJ6d53y jk$86ma! 构建超光栅 zrs<#8!Y_! %%>_B2vc U[R@x` Wt^|BjbB4 初始超表面设计的评估 QdQd(4/1 6SVqRD<` Ir5WN_EaS ~4\,&HH 参数优化 3\AM=` 9}5K6aQ 1~J5uB 4 ZPHXzi3j 优化超光栅设计的评估 5o#Yt _d@=nK) d t_e p~2UUmV 走进VirtualLab [$\z'} 9I`Y-D . w H*sb w(j^ccPD VirtualLab Fusion的工作流程 jij<yM8$g 分析超表面晶胞 *#y;8 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] HRB[GP+ 构造超光栅 !g>.i` 分析光栅衍射效率 aQ#qRkI - 光栅级次分析 [用例] ?7[alV ~ 光栅结构参数优化 fQ+\;iAU B@O@1?c[ .R5y:O /\Z J
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