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  • 兰州大学研究团队在光学模式与偏振复用器领域取得新发现

    作者:佚名 来源:兰州大学 时间:2022-01-10 22:49 阅读:1754 [投稿]
    在薄膜铌酸锂晶圆的表面沉积一层氮化硅薄膜,通过成熟的CMOS兼容工艺刻蚀氮化硅层可以得到氮化硅-铌酸锂异质脊型波导,解决了直接刻蚀铌酸锂薄膜带来的波导侧壁角度等问题,并基于该波导实现了高性能的模式和偏振复用器件。

    近期,兰州大学物理科学与技术学院田永辉教授课题组与澳大利亚皇家墨尔本理工大学(RMIT)Arnan Mitchell教授课题组及上海交通大学苏翼凯教授课题组合作,在薄膜铌酸锂晶圆的表面沉积一层氮化硅薄膜,通过成熟的CMOS兼容工艺刻蚀氮化硅层可以得到氮化硅-铌酸锂异质脊型波导,解决了直接刻蚀铌酸锂薄膜带来的波导侧壁角度等问题,并基于该波导实现了高性能的模式和偏振复用器件。相关结果以“Mode and Polarization-division multiplexing based on silicon nitride loaded lithium niobate on insulator platform”为题在线发表在Laser & Photonics Reviews上,并将于当期Front Cover做简要介绍。兰州大学物理科学与技术学院博士生韩旭为论文第一作者,田永辉教授为论文通讯作者,皇家墨尔本理工大学任光辉博士为论文共同通讯作者。


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