国产的SP光刻机到底牛在哪?
最近“我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备”的新闻刷屏了。有些人欢欣鼓舞,有些人不屑一顾。那么这个装备到底实力如何,牛到底牛在哪?
那么表面等离子体光刻又是怎么一回事呢?表面等离子体指的是一种局域在物质表面的特殊的电磁波,随着离开物质表面距离的增大迅速衰减,一般认为波长量级以上的区域就不存在了。 更为神奇的是,虽然表面等离子体波是由其他电磁波激发的,但是波长会被极大地压缩,而压缩的比例取决于材料的电磁性质等参数。 这就意味着,利用表面等离子体波进行光刻时,从原理上就不在受到传统衍射极限的限制了。 在光刻机研制方面,我们一直有两个选择:沿用ASML的老路走一遍,还是另辟蹊径通过新原理弯道超车?我们国家目前两个选择都在做。而这台SP光刻机的研制成功,就是让我们看到了弯道超车的可能性。其实从原理上,这简直就不是弯道超车了,而是在别的人还在绕山路的时候,我们尝试着打了一条隧道……虽然还没有完全挖通,但曙光就在眼前了。 |

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