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  • 国产的SP光刻机到底牛在哪?

    作者:看风景的蜗牛君 来源:雷锋网 时间:2018-12-01 00:08 阅读:2012 [投稿]
    最近“我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备”的新闻刷屏了。有些人欢欣鼓舞,有些人不屑一顾。那么这个装备到底实力如何,牛到底牛在哪?

    所以由于衍射效应,成像分辨率会受到限制,最终的分辨率取决于波长、数值孔径等参数,波长越小、数值孔径越大分辨率则越高。所以ASML这些年来主要的研究方向就是利用更短的波长(近紫外-深紫外-极紫外)、增大数值孔径(更复杂的物镜、液体浸没)。但是每进一步都变得更加艰难,对系统设计、加工装配、误差检测等等诸多方面都提出了更为苛刻的要求,成本也越来越高昂。



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