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  • 如何在MTF计算中考虑探测器的影响

    作者:Zemax China 来源:投稿 时间:2018-06-07 18:43 阅读:7585 [投稿]
    MTF是用来评价成像系统成像质量最常用的方法之一,但我们往往会忽略掉探测器分辨的影响。这篇文章讲述了如何综合考虑探测器像素尺寸和位置偏移对MTF测量的影响。

    伪彩图的截面分布如上图所示。我们在200微米的区域内设置了十组栅格条纹图案:其对应空间频率为50 cycles/mm。通过确定截面分布的相对极大值和极小值来评估MTF。

    为了减小边缘效应的影响,分析参数需要在整个截面分布上,至少设置5个完整的像素。通过寻找强度数据中第二个及其与最后一个峰值之间的所有极值点来计算MTF。通过只计算两个峰值之间的数据来减小边缘效应的影响。

    通过公式(Imax-Imin)/(Imax+Imin)来计算MTF。最后,由于我们采用的是栅格靶标,因此MTF的结果为方波调制而非正弦调制。


    在空间频率50 cycles/mm处FFT MTF和部分相干图像分析(近似为50 cycles/mm)得到的MTF均为0.65左右,两种分析结果基本一致。由于探测器像素尺寸小于光学系统5微米的均方根光斑尺寸(RMS spot size)以及3微米的艾里斑半径(Airy disk radius),因此这些结果是符合预期的。在这一情况下,光学系统限制了整个系统的分辨率,而非探测器。

    然而如果我们在部分相干图像分析中,使用100x100个5微米宽的像素阵列。我们得到的MTF为0.419:


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