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  • 如何将干涉仪测量的数据输入到OpticStudio中

    作者:Zemax China 来源:投稿 时间:2018-05-10 22:07 阅读:251 [投稿]
    在本例中我们使用ZYGO公司的干涉仪提供的数据做为示例,ZYGO公司干涉仪生成的数据文件格式为.zxgrd文件,在OpticStudio中我们需要将该文件格式转换为.DAT文件。

    在本文中,我们将进一步了解网格矢高数据以及网格相位数据的输入。

    介绍

    在本例中我们使用ZYGO公司的干涉仪提供的数据做为示例,ZYGO公司干涉仪生成的数据文件格式为.zxgrd文件,在OpticStudio中我们需要将该文件格式转换为.DAT文件,并将此文件保存在Zemax根目录下“DocumentZemax/ObjectsGrid Files”中。

    应用实例

    下图为数据文件开头部分的截图,我们可以看到数据格式和上周文章中提到的Grid Sag数据格式相同。XY方向的数据点数分别为732个,又因为数据点间距为0.01344,可以得到该数据文件的直径为9.72mm。其中文件中的第一行末位标志(flag)为0,代表数据单位为mm。


    需要注意的是,如果测量数据保存的是波前数据的话,则我们需要把这份数据文件当做相位数据来处理。OpticStudio的网格相位(Grid Sag)的单位是弧度。因此测量数据需要进行换算,换算公式如下:

    Zemax单位(弧度) = ZYGO测量单位(mm) x 2π / 测量波长(λ)

    在本例提供的数据文件中,测量波长为632.8nm,则:

    Zemax单位(弧度) = ZYGO测量单位(mm) x 2π / 0.0006328 = 9924 x (ZYGO测量单位)

    现在打开OpticStudio,将系统入瞳直径设为9.5mm,其路径为系统选项-系统孔径,选择孔径类型为入瞳直径并输入孔径值为9.5,并勾选无焦像空间(Afocal Image Space)选项,如下图所示。然后在系统选项中设置系统波长为632.8nm。


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