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    [求助]请教如何控制直流磁控溅镀膜厚的均匀度 [复制链接]

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    离线kevin980828
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2005-09-08
    刚接触溅镀机,发现真空腔内外围比内围镀的产品膜厚要薄很多,色差太大,请各位大侠帮忙一下,如何改善.谢谢!!!
     
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2005-09-09
    首先检查靶材表面磁场是否均匀，如果相差太大，溅射率相差会很大，就需要调整磁场分布。另外可在靶材前面放置一个修正板限制某些溅射率较大的位置。
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    离线leilinna
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-11-20
    请问楼上前辈：这块修正板应该是什么材料？如何放置呢？
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