可用晶振片 6MHz aSeh?2n8
频率范围 5MHz~6MHz, kqCUr|M.P
频率分辨率 0.005Hz b:&=W>r
频率稳定度 1ppm 'l1cuAP!+
膜厚分辨率 0.002A <2\QY
测量更新率 10Hz I^O`#SA (
材料数 112 ?YM0VB,y
膜系数 20, 可自动串接 Iy2AJ|d.
可设定层数 112层/每膜系 S3dcE"hg
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit OQ<NB7'n0A
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 LfsOGC
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 CasFj9,
探头数 1,支持六探头 8yGo\\=T
电源 90V~240V,AC, 20W |H8UT SX+
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) ]r1Lr{7^S
控制方法 PID >kV=h?]Y
语言 多国语言(中、英、…) ibgF,N
通信接口 RS232