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    [讨论]阻抗问题讨论 [复制链接]

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    离线greenhaw
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-06-29
    在DC sputtering时，有一个参数是Impedance范围0-10000，请问如果过程中如真空度过高或功率很低引起阻抗很大，意味着什么，会不会对电源有损害？
     
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