薄膜厚度和消光系数的透射光谱测量方法摘要:本文提出薄膜厚度和消光系数的标准曲线测量法,论述了方法的测量原理和测量程序。该法的膜厚的测量范围为~80nm到2000nm;膜厚的测量误差大约为13nm。 _{`Z?lt
1*p6UR&
关键词:薄膜、厚度、消光 iz=cjmV?
{LjzkXs
自洁净玻璃的自洁净性能、低幅射玻璃的低幅射性能都与其膜层的厚度、折射率和消光系数有着密切的关系[1]。近代微电子学装置,如成像传感器、太阳能电池、薄膜器件等都需要这些参数[2] 。这些参数的数据是薄膜材料、薄膜器件设计的必不可少的基础性数据。 rY(7IX
lO cFF0'
通常都是单独测量这些参数,薄膜厚度用原子力显微镜、石英震荡器、台阶仪、椭偏仪、干涉法来测量。薄膜折射率的测量就比较麻烦,因为它是波长的函数,它可以用基于干涉、反射原理的方法测量。从薄膜的吸收谱就可测量其消光系数。显然,取得这些数据是很麻烦、很费时、成本也很高,特别是对于纳米级薄膜。 ^>an4UJt
79 ;uHR&S