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具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术,使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)和不同的优化算法,为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程,和随后的制造误差分析,如圆边效应。 ],vUW#6$N |r*btyOJk 高效偏振无关透射光栅的分析与设计 S'~Zlv3` (CKx
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I@ i1RU5IRy|j 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元结构以获得高偏振无关的衍射效率。 +!9&E{pmo VP^Yph 8R 倾斜光栅的参数优化与公差分析 w5uOi}T\ ZC+F*:$ D6&fDhO27 利用傅立叶模态法(FMM)优化倾斜光栅,以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差,如圆形边缘。 1.WdxMpW9
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