切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 482阅读
    • 0回复

    [技术]JCMsuite应用:孤立线栅 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    4721
    光币
    17981
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-04

    这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。

    光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度

    S偏振光照明的近场强度

    P偏振光照明的近场强度

    后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。

    在实验中,远场通常由成像光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。

    PostProcess {

      OpticalImaging {

      InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"

      OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"

      OpticalSystem {

        SpotMagnification = 2.0

      }

    }

    输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。

    线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)

    线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)

       
      分享到