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    [求助]关于磁控溅射 [复制链接]

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    离线mainbomb
    实习生
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-11
    磁控溅射的靶在用一段时间之后，在靶边缘的特定区域总是会发蓝，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，请问是怎么回事？还有溅射镀膜的均匀性不好，有什么可以改善的方法吗？
     
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