切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1348阅读
    • 0回复

    [推荐]GLAD：光刻成像系统的建模 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4770
    光币
    18226
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-19
    概述 [giw(4m#y  
    该系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源被成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚，在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处，多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示： \Js*>xA  
    N`,,sw  
     掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣 z*b|N45O  
     窄条产生宽的旁瓣，仅部分通过中继入口瞳孔 7)O+s/.P)  
     宽条产生较窄的旁瓣，更容易通过中继入口瞳孔 ]C+P J:CC  
     部分通过旁瓣会产生部分解析 0S+$l  
     mW[w4J+7P  
    系统描述 c>c4IQ&d  
     zA|lbJz=GY  
    本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示，整体装置是一个科勒照明系统，其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中，点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面，并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样，光源放在物的共轭点处，这样在光源面上，点光源将是有一定维度的，而不是像理想点光源那样，会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大，大到可以填满转像透镜的孔径的话，所成的像将是非相干的。 X-bM`7'H  
    o ,_F;ZhE  
    模拟结果 n/BoK6g  
     ./DlHS;  
    三栅条图样的部分相干成像 H,EZ% Gl  
       pwSkwJ]  
    两组七栅条图样建模对比 )B-[Q#*A-  
       %0vsm+XQ0E  
    P A*U\  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表