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    [求助]膜厚控制仪问题 [复制链接]

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    离线矮子lr
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-01-17
    我们这儿用的是南光机子,昨天机子在镀氧化锆时,膜厚控制仪竟往小的方向走,不知是什么原因呢?还望各位大侠指点指点啊!!!!
     
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    离线dede
    助理工程师
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-02-15
    比较片有问题，可能是用过的 WbzA Jx 5  
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