搜索
首页
|
论坛
|
消息
光行天下
>
光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
AR膜中间脱膜
回帖:ouyuu:真空度,温度,镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的?阻蒸还是电子枪? (2025-02-20 11:33)
基本都试验了,最后改的离子源参数,增加退火处理,怀疑应力没释放掉
飞奔的牛
回帖于2026-07-17 14:20
下一楼›
:飞奔的牛:建议做完加个退火处理,我是修改了离子源的参数解决的 (2026-07-17 14:18) < ..
(
nailiang
)
‹上一楼
:nailiang:楼主问题有解决吗?我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜,脱膜 ..
(
飞奔的牛
)
查看全部回帖(6)
«返回主帖