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主题:AR膜中间脱膜
回帖:ouyuu:真空度,温度,镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的?阻蒸还是电子枪? (2025-02-20 11:33) 
基本都试验了,最后改的离子源参数,增加退火处理,怀疑应力没释放掉
下一楼›:飞奔的牛:建议做完加个退火处理,我是修改了离子源的参数解决的 (2026-07-17 14:18) < ..
‹上一楼:nailiang:楼主问题有解决吗?我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜,脱膜 ..

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