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光行天下 光行天下>光学薄膜设计,工艺与设备
主题：AR膜中间脱膜
飞奔的牛发表于 2025-01-22 09:42
6层膜，GE/ZNS/GE/ZNS/GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因
目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好

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回帖(6)：
6楼:nailiang:你们的离子源是全程开启的吗？我们只是打底层使用离子源辅助 (2026-07-17 15:23)& ..
5楼:飞奔的牛:建议做完加个退火处理，我是修改了离子源的参数解决的 (2026-07-17 14:18) < ..
4楼:ouyuu:真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？ (2025-02 ..

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