回帖：nailiang:楼主问题有解决吗？我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜，脱膜范围是基片边缘一圈。 (2026-07-16 13:12) 
建议做完加个退火处理，我是修改了离子源的参数解决的