首页| 论坛| 消息
主题:中科院微电子所在高性能微机电系统红外光源研究方向取得进展
回帖:中国科学院微电子研究所健康电子中心毛海央研究员团队提出了一种基于8英寸晶圆级工艺的单片集成红外光源(ANF-IRS)结构,通过引入Al纳米颗粒修饰的纳米森林(ANFs)作为高发射率辐射层,显著提升了器件在目标波长的红外发射能力。研究团队结合微加热器几何形状的迭代优化设计,有效解决了传统光源温度分布不均的问题,在大幅降低功耗密度的同时显著提高了运行效率 。
下一楼›:高性能微机电系统红外光源研究方向进展 。

查看全部回帖(16)
«返回主帖