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主题:中科院微电子所在高性能微机电系统红外光源研究方向取得进展
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1楼:中国科学院微电子研究所健康电子中心毛海央研究员团队提出了一种基于8英寸晶圆级工艺的单片集成 ..
2楼:高性能微机电系统红外光源研究方向进展 。
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