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主题:吸收怎么调整?从哪些方面入手呢?
回帖:温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。
下一楼›:钛的镀膜温度250℃左右比较合适,吸收的话可通过调节充氧量,调节离子源参数,调节蒸发速度等来 ..
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