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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
吸收怎么调整?从哪些方面入手呢?
tfcalc68
发表于 2025-12-18 14:28
如图,比如说TI3O5短波吸收那么大,应该从哪些方面入手调整?恳请给些详细的见解
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回帖(4):
4楼
:建议降低温度,调节充氧量试试
3楼
:ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。
杂质是膜料问题,膜质不均匀是工艺问题,另外Ti2O5 ..
2楼
:我是高温镀的TI3O5,设定320°,射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5,测试片表面蒙蒙的,是 ..
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