回帖：一般是杂质或者膜质不均匀造成的。
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。
离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。
调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。