作为
衍射光学领域广泛使用的方法,薄元近似(TEA)在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面,当衍射
光栅的周期小到可以与
波长相比较时,这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓(正弦和闪耀),并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析,用来比较两种方法的结果。
%G\nl ]xMZo){[| 用于光栅建模的TEA与FMM
KJ32L \wsVO"/ GiX3c^V"1 我们同时使用TEA和FMM(也称为RCWA)来分析两种周期不同的光栅(正弦光栅和闪耀光栅),并比较了两种方法的结果。
6xtgnl#T L&)e}" 闪耀光栅的傅里叶模态分析
! J<Xel{ bRyxP2 }q]*aADe E56 在
VirtualLab Fusion中,傅里叶模态方法(FMM)可用于光栅效率的严格分析。
Um\HX6 gBhX=2% 更多相关信息,请发送邮件至:
support@infotek.com.cn yP# Y:s 4)D~S4{E5 网址:
http://www.infotek.com.cn @(35I xok
T -K?lhu oF>`> 购买与
软件试用请联系QQ:1824712522