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干涉测量作为最重要的光学测量技术之一已在各领域得到广泛应用。我们将介绍两个示例,利用轮廓扫描干涉仪测量表面形貌和利用Fabry-Pérot标准具实现光谱测量。得益于非序列扩展功能,这两个应用所采用的系统在VirtualLab中可以轻松地实现设置。不仅可以清晰地对其工作原理进行描述及可视化,利用非序列场追迹技术更能够快速且精确地对这类系统进行分析。 lC|`DG-B zZR_&z< 轮廓扫描干涉测量仪 w#0/&\b= 利用低相干氙灯光源,迈克尔逊干涉仪可以精确扫描给定样品的表面轮廓。 ~XU%_Hz L6<.>\^Z" $ S(<7[Z 利用标准具检查钠灯D光 -]n\|U< 在VirtualLab Fusion中使用非序列场追迹技术建模二氧化硅间隔标准具,并用将其于测量钠D光。 )09>#!* uW;[FTcqy$ 2 8>
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