1. 摘要 nqInb:
Q09[[ 亚光
波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下不会形成
图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴
照明。在本例中,高NA聚光
透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以
模拟这种
成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。
Vx~,Uex0+ ]IoUwg pI) 2. ·建模任务 +=O5YR!{ ZosP(Tdq xuqv6b. 3. 结果 9 FB19 {q"OM*L( 1oc3$A 4. 文件和技术信息 0aG ni|