建模目的:如何将矩形光栅界面和转变点列界面(Transition Point List Inerface)进行组合,以构建复杂结构光栅,并进行近场分析和内部场分析 alM
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X 工具箱:光栅工具箱 r9@4-U7v& 关键词:矩形光栅界面 转变点列界面 近场分析 内部场分析 VY }?Nb<& 组合光栅结构参数: M5DW!^ 图1:光栅参数示意图 G
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使用VirtualLab光栅工具箱进行建模 p7y8/m\6
|1vikG8 1) 操作如下图(1)(2):解决方案(Solutions)/光栅工具箱(Grating Toolbox)/二维光栅仿真(2D Grating Simulations)/自定义光栅光路流程图(General Grating Light Path Diagram),生成光栅光路图, 如下图(3) J A'C\ (1)
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图2:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤1)示意图 p]z
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2) 双击 ,进入光栅编辑窗口(Edit General Grating 2D)/结构与功能子窗口(Structure/Function),确定基板材料和厚度,并选择堆栈界面。 Aa^%_5
@ %LrpD 图3:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤2)示意图 Y{~[N y E
3) 进入堆栈界面,即堆栈编辑窗口(Edit),通过添加(Add)按钮依次添加平面(Plane Interface),矩形光栅界面(Rectarngular Grating Interface)以及转变点列界面(Transition Point List Interface)以构建矩形组合光栅。 G2Zr(b')
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(3)
图4:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤3)示意图 y#-mj,e
4) 点击 ,进入矩形光栅编辑窗口(Edit Rectangular Grating Interface),输入光栅一的结构参数,并将其位置横向移动(Lateral Shift)1 μm,如下图所示 f,utA3[
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F 图5:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤4)示意图 (gd+-o4
5) 点击 ,进入转变点列界面(Transition Point List Interface)编辑窗口(Edit Transition Point List Interface),输入光栅二和光栅三两种光栅结构参数: Cnp\2Fu/
NEInro< (1) 通过点击添加数据(Add Datum)增加转变点(transition points),并给该点对应的横向位置(x-Position)和高度(Height)赋值,以形成所需转变点序列。 U#3Y3EdF<
sBozz # (2) 按照图6(2)所示设置所有转变点,然后将插值方法(Interpolation Method)设置为常量区间(Constant Interval)。将横向区域上限(Upper Limit)设置为2 μm,并设置大小与形状(Size and Shape) 为2 μm x 2μm 长方形(Rectangular)。 NijvFT$V1
FOz7W (3) 进入周期化标签(Periodization),选择使用周期化设置(Use Periodization),并将周期设置为2 μm x 2μm。可观察到z-方向,即高度方向最小值(Boundary Minimum)为-800 nm。 gc|?$aE +m Plid\ (1) u*#j;Xc
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