作为最著名的衍射效应之一,泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人,我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版,并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是,由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的,因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。 0{^l2?mgSb
'PmHBQvt& 圆锥形相位掩模的Talbot图像 e{qp!N1!
n',9#I(!L 在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像,以使柱形图案位于主像平面中,而孔图案出现在次像平面中。 >S-N|uR6
!>a&`j2:W 用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 >uP{9kDm
JN;TGtB^p 示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中,如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。 S?,KgMVM dd?x5|/#
k=ior 有什么问题可以添加微信交流~ IxK 3,@d )n[`Z#
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