摘要
vAHJP$x E.}T.St 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
| t3_E wvBJ?t, ~~&8I!r e .2Y"=|NdA 光栅详细说明
ZYc)_Og ,.x1+9X W29@`93 Ko kmylHu •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
!E4YUEY6 •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
6]CY[qEaR$ HwiG~'Ah9 光栅阶次分析器设置
<Mxy&9}ic $
[0 •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
ko=vK%E[ •可以指定各种输出选项。
> ~J&i3 •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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