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本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。 ?CM,k0 j+Wgjf 关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干 R)G'ILneV ,cgC_% 所需工具箱:Starter Toolbox Premium &[JI L=m5 4Mg09 相关Tutorials:HSL.1, DO.2 "eGS~-DVK r}03&h~Hc& 建模任务 Gf]oRNP,N 衍射扩散传输器 目标平面 "ve?7&G7U :sM|~gT nef-xxXC^I 准分子激光 聚焦透镜(f=20mm) 强度分布 /"Rh
bE 2c9@n9Vx3a O(WFjmHx 照射光束参数
xAz gQ ^<sX^V+{ ·光源面尺寸:100×100um 6o6!Ol ·发散角(HWHM):0.89×0.89° 'KyT]OObS ·空间相干长度:3×3 um bu@Pxz%_ ·波长:351nm =oiY'}%(i j>0S3P, 衍射发散器 yf_<o d5sGt# Ia>qVM0 BAqu@F\): ·取样间隔:5um qWQJ> ·尺寸:640×640um |(y6O5Y. ·相位阶数:8 {jlm]< |