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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线讯技david
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-10
    1. 摘要 FMwT4]y  
    L-Xd3RCD  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 3HO 4 h\mp  
    9K#.0  
    2. ·建模任务 69cOdIt^D  
    eoR@5OA&  
    ({m["d  
    3. 结果 K>RL  
    6aM`qz)  
    m/0G=%d%k  
    4. 文件和技术信息 /_*:  
     
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