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    [原创]ZEMAX与光学设计案例:激光扩束系统详细设计与公差分析 [复制链接]

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    离线lens_design
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-05-31 , 来自群:ZEMAX软件运用群
    初入光学设计时间不久,也是静水流深光学第3期提高班学员,平时也经常交流,最近应静水流深光学工作室的Still_Water邀请写一篇稿子,也不好意思拒绝。虽然能力有限,但是还是整理了下平时工作中的一个简单设计,分两帖,一帖设计,一帖公差分析。来和大家分享一下,多有不足,还请各位朋友交流指导。 R8uj3!3^  
    {? 2;0}3?;  
    1、激光扩束系统设计指标 >KHp-|0pv  
    [Q:f-<nH  
    该设计是整机系统中的一部分,接到的任务是对一个准直的激光进行10倍扩束,老板也不是很清楚指标,但是和激光部的人员沟通下来,激光器出射的是口径2mm的高斯光,激光器内部有一部分整形准直。后面再进行10倍扩束的目的主要是压缩视场角度,激光器出射的激光发散角度是3.5mrad(大概在0.2°),发散角度太大,需要压缩到0.5mrad以内。 #%WCL'6B  
    -p^'XL*Z  
    对于这样的解释也就基本上了解了,对于我光学设计的输入就明确了,口径2mm,视场0.2°,另外波长是532nm,设计时候压缩到0.35mrad,十倍扩束压缩发散角,为加工和机械装配留余量。 4Pf+]R  
    k- vA#  
    2、ZEMAX光学设计部分 N"~ qoJO  
    m0C{SBn-M  
    (1)系统参数设置 Z>h{` X\2  
    -xTKdm D  
    ZEMAX设计三部曲,孔径,视场,波段,静水流深课程中都有详细接收,抱歉,平时经常请教他们,在这里拍个马屁,做个广告。 WP!il(Gr  
    ki4Xp'IK  
    孔径设置中,直接设置入瞳直径为2mm,至于切趾类型(可能分布类型更好理解),高斯激光可以选择设置均匀的,也可以选择高斯,做下来区别不是很大。另外,由于这个设计师无焦系统,所以需要选择无焦像空间。当然有人喜欢在最后一个面加入Paraxial近轴面转化为有焦系统,不做评述。 dFMAh&:>  
    ^Rk^XQCh  
    94YA2_f;  
    视场设置,点击视场,这设置就比较简单的了,点,点,点就OK了。这里和老师们上课讲的有点区别,就是视场设置归一化正常是0,0.707,1。新版本软件中则是0,0.5,1。不知道有什么区别,大佬有知道的可以和我说下,谢谢! nqeVV&b!  
    HSC6;~U  
    S[sr 'ZW  
    波段设置,也和视场一样,没技术含量了。 ]Y=S  
    aPt{C3<  
    !^-OfqIHfV  
    (2)系统参数构建与设计 sy=dY@W^  
    S%{lJYwXt  
    扩束系统其实很简单,构型就是伽利略望远镜,在ZEMAX中直接用两个平板来搭建一个初始结构,然后进行优化分析。 gtMw3D`FL  
    |C4o zl=O?  
    vuW-}fY;  
    这是二维图,然后添加一些操作数,进行优化边界控制。首先,由于入瞳口径是2mm,十倍扩束后,出瞳大小是20mm,用操作数EXPD来控制出瞳为20mm;其次,利用MNCA来控制住两个平板的间隔不要小于0,因为这个值是前后两个透镜焦距之差(高斯光学下),所以需要设置变量。设置好后,变量就是两个透镜前后两个面和透镜间隔,然后进行优化。优化操作数如下所示: 6qf-Y!D5  
    ;da4\bppt  
    2;h+;G  
    点击自动优化之后,几秒钟就得到了一个结果,如下所示,虽然看着结果点列图完全在艾里斑以内了,已经是衍射极限了,但是可以看出明显有些问题,就是太长,也就没有直接把这个结构给老板看了,不然估计得挨批了。可以看出两个镜子的间隔是180mm左右,第一个透镜才2mm。 I<KCt2:X  
    ,A?{~?u.  
    ?F25D2[(  
    N:7.:Yw  
    k1m'Ka-  
    (3)减小系统长度 5E0wn'  
    减小系统长度在ZEMAX中优化其实比较简单,就是加入优化操作数控制一下就可以了。其实从理论是去分析下,优化更有针对性。由于是10倍扩束系统,那么后组透镜的焦距也是前组的10倍,那么其实控制前组焦距在合理范围内也就可以了。直接使用TTOR操作数应该也可以,但是需要考虑第一个面和第五个面,这两个不用计算进去,没有这个操作数。联系了加工厂商,得知透镜把F数控制在5以内,那样好比对样板。但是不要太小,大于1.5左右就可以了。 Zg2]GJP  
    这样计算了下,前组透镜的焦距控制在10mm以内,组焦距越大,筒长也就越长,就选择控制在10mm以内,优化操作数如下所示。 "H@Fe  
    &AJUY()8  
    9LHa&""  
    优化之后得到了如下的系统参数,感觉要求差不多,但是咨询各个大佬之后,需要了解之后得知两点:第一,需要了解整体设备的功用,再分析系统,了解下来,一句话就是输入时高斯光,输出也是高斯光,只是发散角压缩,反应到光学系统就是传递函数要接近1,点要在艾里斑以内,目前轴外彗差大,光斑肯定变了,不能满足要求;第二,整体设备体积紧凑,希望进一步压缩体积。 5DUi4 Cbgy  
    gz#+  
    lZBv\JE  
    (4)继续压缩筒长,优化像质 1Lc8fP$  
    t)KPp|&  
    前透镜是负的,主要是发散作用,产生较大的正球差,后组透镜是正的,产生正球差弥补前面的。之所以像质不佳,其实就是后组弥补的球差不够,那么将后组透镜分离,变为两个透镜进行弥补,并且再优化。此时需要控制的就是后组两个透镜间隔,如下操作数所示。 C&e8a9*,(a  
    8ZFH}v@V1'  
    sc9]sIb  
    在分析图里面,也可看出上面分析的没有问题,看大佬都喜欢看赛德尔系数,自我感觉经验不足,多看这个图。 dt0T t  
    PQi }Evxa  
    hj+p`e S  
    另外,控制系统长度,和前面对长度分析的一致,这里直接用操作数控制前后组透镜的间隔,让ZEMAX去计算,系统长度明显降下来,但是像质会变差一点,但是都在艾里斑以内,具体操作数如下图所示。 C!hXEtK  
    [Zh2DNp  
    16L"^EYq  
    URk$}_39  
    (5)套样板,这个就比较简单了,联系你的加工厂商,要来样板文件找接近的,然后修改,修改一个局部优化一次,最后用间隔来优化补偿即可。当然可以直接导入ZEMAX,让它去完成,这里就不说了。 zWJKYFqK  
    fs7~NY  
    最后感谢下这个平台,学习了不少!
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    cyqdesign 光币 +20 优秀文章,支持! 2019-05-31
     
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    离线lens_design
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-05-31
    ZEMAX与光学设计案例:激光扩束系统详细设计与公差分析(二) O0=,&=i  
    Dbkuh!R  
    10倍扩束系统在上篇已经设计好了,接下来就是进行系统的公差分析了,也要感谢下群主,查阅了不少资料,都没群主这边教授的系统,马屁立题是为先!下面两个图就是上篇设计的光学系统,简单放两个图在这。注:由于这个设计有一段时间了,在写帖子的时候有些忘记了,混淆了,大家多多指正!   fn?6%q,!ls  
    {g:/ BFLr#  
    r:8]\RU  
    ~H yyq-  
    0]2B-o"kI  
    NZ%~n:/V#  
    @dT: 1s  
    简单讲一下这两个图吧,点列图其实简单的说就是所有的都在衍射极限之内,但是细看光斑,可以看出,0视场的光斑并没有完全是一个点,对于光栅图,可以看出是残留高级球差,而0.5和1视场的光斑,可以看出主要是彗差,并且也有一些高级球差存在。上篇中其实是缩小了前后组间隔,牺牲了一些像质量,但是仍在艾里斑内。 yTq(x4]  
    }G,SqpcG  
    1、公差分析概论  u_[4n  
    &\6`[# bT  
    公差分析的目的就是镜片加工过程中的误差,系统组装带来的误差,还有一些材料与模型中的差别等对系统的影响。其实通俗的理解就是理论设计为A,实际产品是B,那么K=B/A这个因子就是公差。我们要控制K,使得设计的理论模型A能满足输出要求B。这个K其实由很多东西组成,就是上面说的三方面误差。 :UJUh/U  
    dPyBY ]`  
    那么系统的A、B到底是什么呢?可以有很多,点列半径,波前差,传递函数等等。这里就用波前差作为这个标准。如下所示,是设计的波前图,RMS是0.0006波长。实际要求的B只需要达到0.02波长即可。 }Nd`;d  
    0imqj7L  
     Z,8+@  
    2、公差设定 $jm>tW&;  
    tE9_dR^K  
    ZEMAX有很好的GUI界面可以进行设定,可以看出主要划分了四个部分,对于公差参数主要三部分,也就是需要我们关注设置的,表面公差,元件公差,折射率公差,它们正好对应上面分析的加工误差,装配误差,材料误差三方面。 4-}A'fTU8  
    jFPE>F7-M  
    .' N O~  
    打开公差设定的时候,系统给了一个默认的公差设定,是作为公差分析的一个好的开端。那么一一描述下。 C$..w80/1  
    + k(3+b$S-  
    表面公差中,有曲率半径,厚度,偏心倾斜,表面粗糙度误差,这里需要注意的并不多,主要讲一点把,就是S+A不规则度和Zernike不规则度,这里的单位是光圈,其实也就是波长,在公差数据编辑器中,有的版本转化为了mm,当然有的依旧是波长。这里需要注意点。至于两者只用选择其一,S是球差Spherical,A是像散Astigmatism,就是说S+A不规则度就是利用球差和像散来描述表面加工面型误差的,而另外一种是利用Zernike多项式来描述的,这个数学知识要求比较多,挺实用的,不懂可以问群主,我不是很懂。 !ovZ>,1  
    }96/: ;:k  
    元件公差中,主要是元件的偏心与倾斜,需要说明的一点就是并不是每个元件都需要设置这个,因为元件的倾斜于偏心总是需要有一个参考标准,所以定义其中的一个元件就可以。 YL&b9e4  
    _G}CD|Kx  
    折射率公差,主要就是材料的折射率和阿贝数,这个其实是材料加工商决定的,可以和他们联系与商讨,我们基本上不需要去设定更改。 ubN"(F:!-S  
    eI=Y~jy  
    选项设置中的起始行和评价函数中的是一个意思,测试波长不用管,和实际系统的波长无关。最后需要注意的就是使用后焦补偿,这个一般是有焦系统而言的,我们这个系统就不用勾选了。 FOUs= E[  
    I}G}+0geV  
    那么这里的设定如下所示,按照这个走一轮公差分析。 &"j).Ogm4  
    B,m$ur#$  
    Dxa)7dA|  
    3、公差编辑器 Mp=kZs/  
    TLL[F;uZ  
    以前一直都是上一步点击确认后,就直接计算公差去了,没有想到这个里面还得修改,修改的还挺多的,不得不再次摸摸群主的屁股。 9snyX7/!L  
    J%O4IcE  
    a a Y Q<  
    确认之后,默认生成了51个操作数,下图由于截图原因不能截全。默认的不是正确的,ZEMAX还没有智能到这一步。这里说两点吧,一时也不一定想全。第一就是上面说的元件偏心的事情,把前组作为参考,那么这里就把前组元件偏心倾斜的操作数进行删除。另外,就是补偿器的事情,这里其实可以把间隔作为补偿器,但是实际上有两个间隔,一般我是根据镜子装配关系来选的。当时结构是先装后组两个大透镜,再装前组透镜,选择了前后组间隔作为补偿器。 { d2f)ra.  
    b\|p  
    4、公差计算 |<Dx  
    U0bE B  
    公差计算里面有四个选项卡,设计里面利用灵敏度分析,评价里面选择RMS波前,蒙特卡洛选择100次,进行计算就可以了,这一步没多少需要注意的,当然有些特定的系统会有一些勾选项的设置。 ,w/mk$v  
    hC 4X Y  
    xMfv&q=k@  
    确定之后,一分钟不到就会计算得出结果,此时会生成一个分析的TXT表格,统计了公差分析的结果。这个数据txt,我们可以倒过来看。 I.\f0I'.  
    t ]I(98pY  
    s3E~X  
    可以看出,100次蒙特卡罗计算,90%的RMS波前是0.21个波长,10%是0.047,这都不能满足我们的系统要求0.02波长,所以我们就需要往前面看分析得到的计算过程中的敏感项,对它的公差进行缩小。 ^B6i6]Pd=9  
    2p;}wYt  
    R#Nd|f<  
    这里就对所有公差中对于RMS波前影响最大的前十进行了排列,下一步就可以把它们缩小了。最后我们对这几个面的表面倾斜控制了±0.02mm,计算得到的结果如下图所示,良品率接近90%。 Nec(^|[   
    ~ :b:_ 5"  
    t>h i$NX{p  
    3 ws(uF9$  
    LX?r=_\  
    最后,建议学习ZEMAX还是尽量系统一些!
    离线aonex12
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-06-01
    楼主写的很详细,对于初学者就需要这么详细的教材。我找的一些优化手机镜头的例子说的都很大概,具体的优化过程略去了很多,不能很好掌握。如果楼主以后能多分享一些这么详细的设计过程,我相信是对广大光学设计初学者的福音,是手机镜头就更好啦。
    离线yu-xuegang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-06-03
    ZEMAX的表格好像EXCL
    离线thorn12345
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-06-03
    赞,写的不错
    离线lens_design
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-06-06
    谢谢。
    离线lens_design
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    只看该作者 6楼 发表于: 2019-06-06
    回 aonex12 的帖子
    aonex12:楼主写的很详细,对于初学者就需要这么详细的教材。我找的一些优化手机镜头的例子说的都很大概,具体的优化过程略去了很多,不能很好掌握。如果楼主以后能多分享一些这么详细的设计过程,我相信是对广大光学设计初学者的福音,是手机镜头就更好啦。[表情]  (2019-06-01 08:50)  R:x04!}  
    8Kkr1}!wd  
    客气了,可以加下微信lens_design
    离线vn2991
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    只看该作者 7楼 发表于: 2019-06-11
    很难看到这么全的设计优化流程,谢谢楼主! PP|xIAc  
    请问下,楼主在设计的过程中有遇到激光器产生的干涉条纹的影响吗?
    离线lens_design
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    只看该作者 8楼 发表于: 2019-06-14
    回 vn2991 的帖子
    vn2991:很难看到这么全的设计优化流程,谢谢楼主! oaE3Aa  
    请问下,楼主在设计的过程中有遇到激光器产生的干涉条纹的影响吗??(2019-06-11 09:40)? 6Wp:W1E{`  
    ]ORat.*0[T  
    这种情况多出现在设计过程中平行光路中有平片,另外有些是镀膜引入的,可以加下微信lens_design
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    vn2991 光币 +1 原创内容,奖励! 2019-06-17
    离线lens_design
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    只看该作者 9楼 发表于: 2019-06-14
    回 thorn12345 的帖子
    thorn12345:赞,写的不错?(2019-06-03 09:45)? -XBNtM_ "  
    ADDpm-]  
    谢谢,可以关注公众号   静水流深光学 |r%P.f:y{X  
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