近红外消偏振反射镜的设计与制备 i=i(% yQ%
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摘要：设计并制备了一种在45°斜入射条件下使用的金属Ag消偏振反射镜，这种反射镜可以实现对目标波长810nm和850nm光线的反射，并保持线偏光的偏振方向和偏振消光比。为了消除s和p两偏振分量的分离，在金属Ag膜层上方添加了介质多层膜结构，并利用软件对膜系的结构进行了优化，设计结果的能量和相位特性满足目标需求。介质多层膜选用TiO2和SiO2分别作为高"低折射率材料，薄膜的制备采用了离子束辅助沉积工艺，并利用石英晶体振荡监控膜层厚度。得到了消光比达到10000:1以上的样品，实现了光学薄膜器件对能量和相位的控制，满足了偏振编码空间光通信试验的需求。 ~ %^
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关键词：光学薄膜；消偏振反射镜；相位控制；偏振编码
