自从1958年世界上出现第一块平面集成
电路开始算起，在短短的四十多年中，微
电子技术以令世人震惊的速度突飞猛进地发展，创造了人间奇迹。作为微电子技术
工艺基础的微光刻技术是人类迄今为止所能达到的
精度最高的加工技术。
G{U#9 s ^h@b!'7 微光刻技术既伟大也很微小当今世界各行各业都离不开
信息科学信息科学离不开计算机技术计算机技术的发展离不开微电子技术微电子技术工艺基础是微光刻技术微光刻技术一次又一次突破
分辨率极限，使微电子技术得以创造了如此伟大的人间奇迹细细回味：几十年来微光刻技术把微细加工尺寸从微米级推进到
纳米级，与在人类从宇宙太空到原子世界的整个研究探索领域相比，也只是微小的一段。
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