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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 (_Ky'. R!y`p:O
C -]!zj#& ;!Q}g19C 设计任务 vH)V\V .F^372hH3 ;JV(!8[ rGUu K0L& 仅位相透射设计(IFTA) . g8db d cZl/8?dj} ZMGthI}~- y\@INA^ 仅位相透射设计(IFTA) &E0L 2gbI l,@rB+u \Jm^XXgS 9`Zwa_Tni 超表面晶胞分析 \?~cJMN (Y:?qy ~tB#Q6`nB hzV= 7 构建超光栅 +Vw]DLWR BVe c Cu`ty] -' R}T\<6Y 初始超表面设计的评估 }[b3$WZ j:P(,M[ [|tlTk YF68Ax] 参数优化 <}('w/ 1;"DIsz@d v!6IH
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