MEMS的课程论文,写得比较认真,希望对大家有用^_^ 传上来挣点分…… =F[lg?g
x 8M#t(hw
本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括: yTj p-
1、移动掩模深X射线光刻(Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL)技术 qa;EI ;8
2、改变X射线入射方向的二次曝光方法 okh0_4
3、水平型正交横截面技术(Plane-pattern to cross section transfer,PCT)
u;(K34!)
4、X射线灰色掩模技术 aKOf;^@
并对最新的制造方法:X射线灰色掩模(X-ray gray mask)光刻技术做详细介绍。