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    [求助]求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数 [复制链接]

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    离线b57322710
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-30
    求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数 ~3UQ|j  
    磁控溅射的 J c g,#@  
    现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40：10 pwO>h>ik  
    K)-U1JE7  
    但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置 /,1D)0  
    刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下
     
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