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    [求助]MDC360不稳定 求助 [复制链接]

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    离线sy830608
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-09-07
    求助大家 MDC360 镀膜过程中电子稳定360控制仪速率大范围抖动,挡板关闭速率仍在显示,膜厚显示增加,该如何解决?
     
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    离线wlei781
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-09-08
    到机台顶上在晶控接入机台的位置轻轻敲几下。
    离线aaoe
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-10-12
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