可用晶振片 6MHz ."3 J;j
频率范围 5MHz~6MHz, S:DB%V3
频率分辨率 0.005Hz Wqy8ZgSC
频率稳定度 1ppm vnIxI a
膜厚分辨率 0.002A $bD!./fl
测量更新率 10Hz z.{yVQE
材料数 112 CNP?i(Rk
膜系数 20, 可自动串接 7\jH?Zi
可设定层数 112层/每膜系 $'e.bh
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit W[YcYa_tQ
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 D@\97t+
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 15 SIZ:Q
探头数 1,支持六探头 x%$Z/
电源 90V~240V,AC, 20W hf%W grO.
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) 4u:{PN
控制方法 PID ]Q^oc
语言 多国语言(中、英、…) 1f~_# EIC
通信接口 RS232