可用晶振片 6MHz 1kFjas`g
频率范围 5MHz~6MHz, g()m/KS<
频率分辨率 0.005Hz tHI*,
频率稳定度 1ppm Vewzo1G2
膜厚分辨率 0.002A =MSu3<y,
测量更新率 10Hz R2^iSl%pj
材料数 112 7kz-V.
膜系数 20, 可自动串接 LHi6:G"Y(
可设定层数 112层/每膜系 P^IY:
-s
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit 981!2*
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 )SiY(8y
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 {+=i?
探头数 1,支持六探头 N/{?7sG&
电源 90V~240V,AC, 20W z+"0>ZN&
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) DP>mNE
控制方法 PID h([0,:\
语言 多国语言(中、英、…) :XS"#^aJ
通信接口 RS232