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    [求助]为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面？ [复制链接]

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    离线d9272816
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-06-05
    1.为何磁控溅镀机的磁铁都放在靶材的下面 nd{k D>a  
    2.可能跟第一个问题有关，为何靶材都是圆形的
     
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    离线liwenjuan
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-06-11
    放在下边可以很方便安装呀，并且磁场也很有效利用。 J$S*QCo  
    感觉大型溅射设备都是矩形的，呵呵
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    离线chongqigeg
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-06-20
    靶材有矩形的阿
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    离线知识乞丐
    实习生
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    光券
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    只看该作者 3楼 发表于: 2016-09-25
    平面靶 圆柱靶  y)3OQ24  
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