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[求助]初学膜系设计，求推荐相关书籍。 [复制链接]

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离线雨雪霏霏

技术员

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2014-06-26

求推荐一本比较好的膜系设计的书，本人主攻深紫外光刻物镜中的膜系设计。

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离线morningtech

助理工程师

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只看该作者 1楼发表于: 2014-06-27

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，网上曾有过第2版原版的pdf. 第1版的，有中文版，周九林、尹树百译，网上有 pdf 的。或可看看浙大唐、顾的 <薄膜光学与技术>，顾的<光学薄膜技术?>。偶早期看到的是后3者。这些都可称经典。
这几年有新作出来，没有细读。
注意：浙大出版社刘旭、王、易，翻译<光学干涉薄膜>不是系统介绍光学薄膜原理的，而是文集。
因光学薄膜的基本理论已完善，所以设计方面的书经典就够用了。
2. 光学薄膜的设计软件也已经有很多，网上能找到一些。

离线雨雪霏霏

技术员

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只看该作者 2楼发表于: 2014-06-28

回 morningtech 的帖子

morningtech:1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，网上曾有过第2版原版的pdf. 第1版的，有中文版，周九林、尹树百译，网上有 pdf 的。或可看看浙大唐、顾的 <薄膜光学与技术>，顾的<光学薄膜技术?>。偶早期看到的是后3者。这些都可 .. (2014-06-27 08:54) ZA820A>2!