一、镀膜技术可区分为哪几类? C.RXQ`-P}
可区分为:(1)真空蒸镀 (2)电镀 (3)化学反应 (4)热处理 (5)物理或机械处理 avY<~-44B
二、蒸镀的加热方式包括哪几种?各具有何特点? *&~(>gNF,
加热方式分为: J|u_45<
(1)电阻加热 (2)感应加热 (3)电子束加热 (4)雷射加热 (5)电弧加热 eWr2UXv$
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各具有的特点: 39bw,lRPV
(1)电阻加热:这是一种最简单的加热方法,设备便宜、操作容易是其优点。 w7~cY=
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(2)感应加热:加热效率佳,升温快速,并可加热大容量。 v$Xoxp
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(3)电子束加热:这种加热方法是把数千eV之高能量电子,经磁场聚焦,直接撞击蒸发物加热,温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二:高温金属产生的热电子,另一种电子的来源为中空阴极放电。 +ZR>ul-c
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(4)雷射加热:激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上,产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射,而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高,因此准分子雷射的功率密度甚高,用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物,镀膜的品质甚佳.它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异,准分子雷射脱离的是微细的颗粒,后者则是以分子形式脱离。 A3.*d:A
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(5)电弧加热: c#Qlr{ES
阴极电弧沉积的优点为: };g<|v*o
(1)蒸镀速率快,可达每秒1.0微米 M9.FtQhK/
(2)基板不须加热 qS?^(Vt|R
(3)可镀高温金属及陶瓷化合物 A}[x))r
(4)镀膜密高且附着力佳 $U"pdf
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三、真空蒸镀可应用在哪些产业? Q[9W{l+
主要产业大多应用于装饰、光学、电性、机械及防蚀方面等,现就比较常见者分述如下:
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1.镜片的抗反射镀膜(MgO、MgF2、SiO2等),镜片置于半球支顶,一次可镀上百片以上。 <l<