可用晶振片 6MHz U_C1GT-|
频率范围 5MHz~6MHz, [NIaWI,>
频率分辨率 0.005Hz CN<EgNt1kN
频率稳定度 1ppm l)(
3]
膜厚分辨率 0.002A $2gZpO|
测量更新率 10Hz W%^;:YQ9i
材料数 112 kG$U
膜系数 20, 可自动串接 iwT
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可设定层数 112层/每膜系 XfH[:XG3
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit IH~[/qNk
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 $y+Bril5W
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 _+2Jc}Yf
探头数 1,支持六探头 Q !G^CG
电源 90V~240V,AC, 20W g\lEdxm6Sj
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) %w3"B,k'9D
控制方法 PID O4fl$egQU
语言 多国语言(中、英、…) ww$Ec
通信接口 RS232