可用晶振片 6MHz Ek_5% n
频率范围 5MHz~6MHz, ??,[-Oi
频率分辨率 0.005Hz X7},|cmD_
频率稳定度 1ppm DiFYVR<@
膜厚分辨率 0.002A -]Z7^
测量更新率 10Hz R~\R>\
材料数 112 [7Lr"
膜系数 20, 可自动串接 QqA=QTZ}
可设定层数 112层/每膜系 (~GQncqa
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit uuC ["Z
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 tVAi0`DV
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 w4U,7%V
探头数 1,支持六探头 AW]\n;f
电源 90V~240V,AC, 20W zjpZ] $
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) 3p0v
控制方法 PID xb,XI/
语言 多国语言(中、英、…) QyD0WC}i
通信接口 RS232