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    [求助]关于镀膜的厚度测量 [复制链接]

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    离线jean5320
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-09-05
    哪位大哥能告诉小弟，用什么样的仪器可以测量镀膜后，膜的厚度？
     
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    离线xiaoqu01
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-09-06
    用台阶仪 能到10-9
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    离线jean5320
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-09-07
    我靠，多谢大哥了
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    离线mangovc
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2006-09-09
    可以PE,椭偏仪等都可以啊
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    离线fzjbly
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    只看该作者 4楼 发表于: 2006-09-11
    专业提供各种激光器，高分辨率通用光谱仪系列，各种探测器，科学及ccd，微弱信号检测仪器 <Uc?#;% Y}  
    先锋科技股份有限公司   方正军 `8/D$  
    北京市海淀区知春路118号知春大厦A0803室   %%sJ+)  
    邮编：100086 Sjp ]TWj  
    vYg>^!Q  
    http://www.teo.com.cn LYO2L1u)  
    电话：(010) 62634840 L*FQ`:lZ  
    传真：(010) 82618238 +Z e;BKZ3  
    E-mail: wilson-fang@teo.com.cn
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    离线ttphead
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-08-08
    这个，方法太多了，看你镀的哪种材料，大概镀多厚，不能一概而论
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    离线tsjbird
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-08-20
    使用荷兰Avantes光纤光谱仪，利用白光干涉原理，测量膜厚范围10nm到50um，分辨率可以达到1nm =Z ql6D  
    感兴趣的话可以到网站看一下，www.avantes.com.cn
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    离线王少伟
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-03-04
    膜厚仪，FTPadvaced
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