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    [求助]有关于光驰Gener坩埚 [复制链接]

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    离线xyclj
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-10-24
    各位高手，小弟想请教下有关于光驰Gener   TiO2坩埚位置转不到位的问题 3 l QGU  
    问题如下：坩埚转位时，特别是倒转的时候会转过头然后转回来，但会差一个点，比如3号位转2号位，编码器从60转到25，然后慢慢的从25转到29（到位是30）就停下了，导致差一个点，转不到位！ i#=s_v8  
    请各位高手指点，帮忙分析，小弟感激不尽！跟帖或联系cljian123@126.com，谢谢！！！ ,~>A>J  
     
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    离线xyclj
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-10-25
    请各位指点！！！
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    离线天命
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-12-17
    明显是编码器出现故障了，找光驰的人问一下就清楚了
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    离线longmin
    高级工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-12-23
    可以用系統軟體補正 sH_B*cr3  
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    离线lcq0524
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2012-09-17
    软件补正哦
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