可用晶振片 6MHz 5A4&+rdU
频率范围 5MHz~6MHz, s|NjT
频率分辨率 0.005Hz m-jHze`D3
频率稳定度 1ppm
(X?/"lC)
膜厚分辨率 0.002A RTFZPq84
测量更新率 10Hz \{EpduwZ
材料数 112 Dxk+P!!K
膜系数 20, 可自动串接 !XzF67
可设定层数 112层/每膜系 Z?O*'#yn
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit {N#KkYH{"
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 ?SC[G-b
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 A=j0On
探头数 1,支持六探头 T t>8?
电源 90V~240V,AC, 20W 0V!l,pg
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) i:l<C
控制方法 PID 8Y#\xzod
语言 多国语言(中、英、…) G!XIc>F*
通信接口 RS232